关键词：玻璃基板;自动脱附;轨迹规划;力控制;接触定位;工业机械臂
摘 要：针对玻璃基板抛磨工艺中的人工上料(贴片)和下料(卸片)过程,提出一套玻璃基板自动上下料装置及工艺,重点研究其中用机械臂实现玻璃基板的自动脱附过程。建立了机械臂的运动学模型,根据工艺要求规划其运动轨迹。对工艺过程中绝对位置精度要求较高的点,采用接触力反馈的方式实现精确定位;针对玻璃脱附过程对操作力提出的要求,对机械臂采用力控制的方式实现。为节省末端的力传感器,建立了机械臂的动力学模型,把对末端执行器的力的要求转换为对关节驱动电机的扭矩要求,再通过实验的方法对计算出的理论扭矩进行补偿修正,从而满足工艺过程对机械臂末端执行器在水平和垂直两个方向上的力控制的要求。方法均通过实验验证可实现玻璃基板的自动脱附,系统工作过程稳定可靠。
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