关键词：三维评估；多元夹杂物；光蚀刻；俄歇电子能谱(AES)；聚焦离子束；形成机理
摘 要：为了从钢铁中提取各种夹杂物颗粒,考察了采用无水电解质的恒电位和恒电流的提取方法.结果认为,4％的MS[4％(V/V)甲基水杨酸-1％(m/V)水杨酸 1％ (m/V)四甲基氯化铵-甲醇)和10％AA(10％(V/V)乙酰丙酮-1％(me/V)四甲基氯化铵-甲醇]电解质溶液适用于提取钢铁中央杂物TiOx和TiAl2O5.尽管这些电解提取法可以提取化学性能不稳定的夹杂物颗粒,然而,因为对夹杂物的观察是在萃取完成后于一个滤膜中进行,因此无法确定金属中每种夹杂物的具体位置.为了确定金属中央杂物的具体位置,将卤-醇的光蚀刻方法用于以Ti和Al除氧的钢样品表面附近出现的夹杂颗粒,使用扫描电子显微技术和俄歇电子能谱(AES)对精细夹杂物颗粒形貌、尺寸和元素的偏析进行评估,不过卤醇却和钢铁中的金属钛和金属铝发生还原反应.对微小夹杂物颗粒的成分的形态、分离进行估测,然后,使用一种低加速能-扫描电子显微技术和俄歇电子能谱(AES)对用聚焦离子束制备微小夹杂物颗粒截面上元素的微观偏析进行评定.在这些研究结果基础上讨论了多元夹杂物颗粒的形成机理.