关键词：柔性显示;化学机械抛光;抛光辊;304不锈钢片;光固化机
摘 要：柔性显示技术正在逐步改善着人们的生活和通信,并显著促进信息可视化。柔性显示技术建立在柔性衬底之上,柔性衬底的选择对柔性器件许多特性的好坏有着直接的影响。柔性衬底材料目前主要有金属箔片、聚合物衬底、超薄玻璃以及石墨烯。其中不锈钢以其良好的耐腐蚀性和共有的金属特性,已经得到了广泛关注,也开始应用于柔性显示,不过其缺点就是表面粗糙度(Ra)较高,采用目前最受认可的化学机械抛光技术,以此达到全局平坦化无损伤的目的。由于传统的化学机械抛光技术使用游离磨料,存在材料去除率低、磨料不均匀、耗材成本高等很多缺点,人们在逐步改进传统化学机械抛光技术的同时,也在研究与探索新的平坦化技术。固结磨料化学机械抛光技术是...
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