关键词：非线性；ΣΔ加速度计；行为级模型；稳定性
摘 要：非线性是Sigma-Delta(ΣΔ)加速度计系统的关键指标之一。基于一个五阶ΣΔ加速度计结构,分析了其主要的非线性模块,在MATLAB中建立了整体结构的行为级模型,并利用根轨迹法进行了稳定性分析。基于TSMC 0.35μm工艺实现了一位量化的开关电容接口电路设计和版图设计,版图的后仿真结果和模型的行为级仿真结果一致,验证了所建立模型和设计电路的准确性。
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