在并购行为的推动下，半导体设备行业经历了从内生发展、外延调整和聚焦成熟三个主要时间，至今已形成了高度聚焦的市场。并购史具备三重特征，一是并购时点滞后于行业周期，二是在地域分布上以美国为核心向其他地区扩散，三是企业并购的数量和金额特征符合企业的发展战略。

总览全球半导体设备企业并购史，呈现三重特征 ......... 5

并购历史回顾：推动行业走向高度聚焦 ............... 5

时机、地域、标的选择三重特征塑型并购历史..... 7

并购动机归因，外延发展成效显著 ........... 10

动机一：跟随工艺节点，捕捉行业前沿 ............. 10

动机二：实现产品互补，追求协同效应 ............. 12

动机三：挤出竞争对手，强化市场优势 ............. 14

动机四：延伸产品品类，拓展市场空间 ............. 16

动机五：纵向布局上游，形成产业链协同 .......... 18

并购反思录：行业法则与研发刚性 ........... 22

反思一：行业法则——保持前沿性是竞争力的重要来源 ...... 22

反思二：研发刚性——并购与研发的替代/互补关系 ............ 25

以史为镜，看国内设备企业的破局之道 .... 28

投资建议与风险提示 ............... 32