关键词：热温差式流量传感器;;热隔离;;单硅片单面硅微机械加工;;仿真分析
摘 要：在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings Inter-etch&Sealing)工艺技术使得加工后的芯片尺寸仅为0.7 mm×0.7 mm,测试结果表明:传感器灵敏度为107.88m V/(m/s)W(无放大处理),检测响应时间仅为1.53 ms,综合精度为±4%。
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