关键词：双光栅尺；高速高精度位移测量；FPGA；切换与合成
摘 要：由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量.设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量.实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率.它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景.