关键词：电容传感器；蒸汽湿度；介电常数；湿空气
摘 要：电介质的介电理论表明,同一压力和温度下的饱和水和饱和蒸汽,介电常数相差较大.基于此理论,该文利用电容法进行湿度标定实验研究,及对电容式湿度测量仪的静态特性进行分析.实验中采用向空气中喷雾化水滴的方式来模拟湿蒸汽,应用所设计的多电极同轴圆筒形电容传感器测量蒸汽湿度.测量电路以电容为测量参数,以电压为输出信号,通过输出与电容值成正比的电压值的大小来反应电容量的大小.实验结果表明,传感器电容值不随空气流量的增加而变化,其稳定性较好;在实验范围内该传感器的灵敏度不是一个定值,最大灵敏度为0.045nF/1％;湿度越小该传感器的可重复性越好,随着湿度的增加,其可重复性概率逐渐减小,其可重复性指标值为3.68％;随着汽流湿度的逐渐增加,传感器电容逐渐增大,湿度在小于12％的范围内,其线性度较差,而湿度范围在3％～8％时,其线性度较好.