关键词：介观压光效应;光子晶体;微陀螺;静电驱动;阻尼系数
摘 要：微机械陀螺在消费电子、现代工业控制、航空航天，国防军事等领域具有广泛的应用并且发挥着重要作用，但是，由于现有检测原理的局限性，很难进一步提高微陀螺检测精度，急需开展新效应检测原理的微陀螺技术研究。介观压光效应以光子在光子晶体中的传播特性为研究对象，微弱的力学信号将使光子晶体光量子阱共振隧穿透射峰发生显著的改变，由于光子的运动为光速，静止质量为零，之间没有相互作用力，而光子晶体可控制光子的运动，用光子晶体的介观压光效应能够克服现有检测原理的不足，从根本上提高MEMS陀螺的检测灵敏度。 本文对MEMS微陀螺以及光子晶体介观压光效应的理论基础进行了分析讨论，应用传输矩阵法对镜像三周期一维光子晶...
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