关键词：自动送料；气体；制备；反应釜；仿真
摘 要：在动态配气的源气制备过程中,针对通过燃烧固体材料制备源气反应釜的两个关键问题:自动送料排料燃烧器设计和匀气装置安装的位置的选择,一方面提出了采用伸缩旋转式燃烧器设计方案,间歇的实现动态供料燃烧制备气体,并及时排除燃烧后的残留物;另一方面提出在反应釜内加入具有匀气作用的无叶风扇作为搅拌装置,并对反应釜内部气体流场建立数学模型。然后对无叶风扇与进气口排成直线、无叶风扇与进气口以及采气口垂直排列两种安装方法采用Matlab仿真,并针对仿真结果的做了对应实验。实验和仿真均表明:采用无叶风扇与进气口以及采气口垂直排列的安装方案,气体浓度波动较小、稳定性较好、气体扩散均匀程度也达到较好的效果;伸缩旋转式燃...
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