关键词：微机械加工技术;种类;应用
摘 要：微机电系统的制造主要是靠微机械加工技术,它的出现和发展最早是和大规模集成电路密切相关的。集成电路要求在微小面积的半导体材料上能容纳更多的电子元件,以形成功能复杂而完善的电路。目前微型机械加工技术主要有基于从半导体集成电路细微加工工艺中发展起来的硅平面加工工艺和体加工工艺。在LIGA(光刻电铸)加工、准LIGA加工、超微细机械加工、微细电火花加工、等离子体加工、激光加工、离子束加工、电子束加工、快速原型制造技术以及键合技术等微细加工工艺方面取得了相当大的进展。
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