在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC 材料总成本的5%-6%，虽然看似占比不大，但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

一、电子气体的概述...... 1

（一）电子气体的定义............... 1

（二）电子气体分类................... 1

（三）气体纯度标准................... 2

（四）气体制造主要技术...........3

气体分离技术......3

气体提纯技术......3

气体检测技术......4

气体混配技术......4

容器处理技术......4

气体充装技术......4

二、重要电子气体介绍..5

（一）硅烷（SiH4）：最好的硅源材料，用于外延晶体生长.............. 5

（二）砷烷（AsH3）：独一无二的砷源化合物，因剧毒国内目前难以生产........... 6

（三）一氧化二氮（N2O）：介质膜工艺气体，目前国内产能即将爆发................. 6

（四）氨气（NH3）：电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积重要的“氮”源...............7

（五）三氟化氮（NF3）：气体清洗剂，目前国内已打破技术垄断....8

三、中国电子气体现状..9

四、在半导体芯片行业中的应用.....11

（一）制程介绍....11

（二）电子气体的应用.............12

外延沉积............ 12

刻蚀.....................13

掺杂.....................14

（三）市场规模分析................. 14

五、在半导体照明行业的应用......... 16

（一）制程介绍....16

（二）电子气体应用................. 16

（三）市场规模分析................. 16

六、在平板显示行业中的应用......... 17

（一）制程介绍....17

（二）电子气体应用................. 18

CVD 非金属膜沉积.................. 18

溅射金属膜沉积18

刻蚀工艺............ 19

（三）市场规模....19

七、在太阳能电池行业的应用......... 20

（一）制程介绍....20

（二）电子气体应用................. 21

晶体硅太阳能电池制造中的应用..............21

薄膜太阳能电池制造中的应用.................. 22

（三）市场规模....22

八、国际主要厂商........ 23

（一）美国空气化学................. 23

（二）普莱克斯集团................. 23

（三）法国液化空气集团...........2

（四）林德集团......3

九、国内主要厂家.......... 4

（一）中昊光明化工院：中国最大品种最全的气体生产商..................4

（二）中船重工718 所............... 4

（三）北京绿菱气体科技有限公司................5

（四）南大光电：国内首个MO 源自主生产商，打破国外垄断........... 6

（五）巨化集团：氟化工全产业优势带动高质量含氟气体生产......... 7