关键词：碳材料;超级电容器;双电层;微机电系统
摘 要：结合国内外研究现状,综述了基于C-MEMS(碳-微电子机械系统)超级电容器的研究进展。介绍了热解条件、电化学活化、沉积电化学活性材料、氧气等离子体处理方法对其电化学性能的影响,新技术的开发和采用极大简化了电容器制作的过程,提高了双电层电容器的电化学性能,最后提出了基于C-MEMS电容器的发展观点。
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