关键词：多晶硅；电感耦合等离子体原子发射光谱法；氟化钾；硼；氟硼酸钾
摘 要：为了快速简便地运用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)检测微量硼的含量,减少硼在消解过程中的损失,通过采用氢氟酸-硝酸消解样品,加入KF使硼生成的HBF4转化为一种非常稳定的化合物KBF4,再用ICP-AES测定试液中硼.探讨了氟化钾用量、挥发时间和温度等因素对测定的影响,并优化了实验参数.用本法测定多晶硅中的硼,其检出限为2.6 pg/mL,样品测定结果的相对标准偏差在3.6％～6.9％之间,加标回收率为98％～102％.