基于异质双周期结构光子晶体加速度计的设计
作者单位：马英舜,MA Yingshun(中北大学理学院,太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051)许丽萍,闫红梅,XU Liping,YAN Hongmei(中北大学理学院,太原,030051)温廷敦,WEN Tingdun(中北大学理学院,太原030051;中北大学微米纳米技术研究中心,太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051)毛宏庆,MAO Hongqing(中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051)
加工时间：2014-02-15
信息来源：材料导报
关键词：异质双周期光子晶体;加速度计;多量程;超灵敏;宽频带
摘 要：对于异质双周期结构的光子晶体而言,不需要掺杂即可形成多条透射谱.理论结果显示,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系.据此,设计了一种单悬臂梁结构的多量程、超灵敏的宽频带加速度计.在单悬臂梁根部所受应力最大处,用异质双周期光子晶体替代以往的压敏电阻,只需检测出透射光强与入射光强的比值,即可测出加速度.ANSYS软件仿真结果表明,当透射光强改变万分之一时,该加速度计可以感知0.01gn的加速度变化,测量量程可达l00gn.从模态分析图中可以看到该加速度计可以稳定地工作,可用在自控、车辆、测试等领域.
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