关键词：ALD deposition;Perovskite
摘 要：本文采用热原子层沉积技术(T-ALD)在氟化透明导电玻璃(FTO)上制备不同Al掺杂比例的TiO_2(ATO)应用于平面钙钛矿太阳能电池的电子传输层。结果表明,当Al:TiO_2掺杂浓度为1:100时,器件能达到最高13.13%的效率,而采用TiO_2作为电子传输层的器件,效率仅为10.43%。通过荧光光谱(PL),x-ray光电子能谱(x-ray photoelectron spectroscopy,XPS),薄膜电阻(I-V)等对样品的分析,我们认为Al掺杂TiO_2作为电子传输层有效地降低了薄膜的电阻、表面缺陷,最终提高钙钛矿太阳能电池的光电特性。
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取