关键词：微拉伸测试;;压电陶瓷;;PID;;SU-8光刻胶
摘 要：为了实现微拉伸测试系统中微位移的精密进给,首先设计了一种压电陶瓷微驱动器,然后在LabVIEW平台上利用PID控制算法对其进行了闭环控制。控制后的微驱动器输出精度达到10 nm,响应时间较开环时缩短了近10倍,明显改善了输出特性并达到了线性输出的目的。最后将该驱动器应用于搭建的微拉伸测试系统,对SU-8光刻胶薄膜进行了微尺度力学性能测试,测得SU-8光刻胶薄膜的杨氏模量为(1.47±0.27)GPa,抗拉强度为(62.18±16.49)MPa,最大应变为(3.57±1.4)%。该驱动器基本满足了微拉伸测试的需要。
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