关键词：氧化钛;表面改性;金属弧源沉积
摘 要：通过真空磁过滤高弧源沉积溅射技术,制备纯钛TA2(纯度99.999%)材料表面沉积金红石结构的氧化钛(Ti-O)薄膜,能不降低基体材料本身机械力学性能,改善钛基植入器械表面性能,获得使用性能更佳的生物相容性材料,为人工心脏瓣膜提供更能适应体内生理环境的植入材料。文中在人工机械心脏瓣膜表面制备Ti-O薄膜以获得更佳的使用性能。薄膜制备过程首先使用Ar离子溅射清洗材料表面,去除材料表面多余的杂质,然后利用金属离子源激发产生的Ti离子同射频放电产生的氧离子,在强磁场弯管的引导下,加速撞击在工作台上施加一定负偏压的样件,对TA2材料表面及Si(100)表面(参照样)沉积Ti-O薄膜,在真空室内一定氧分...
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