关键词：Al2O3薄膜；无水乙醇；溶胶-凝胶法
摘 要：以异丙醇铝为原料,采用溶胶凝胶法和浸渍提拉技术在玻璃载片上进行涂膜并考察了溶剂中乙醇含量对Al2 O3膜结构及性能的影响.结果表明:在总溶剂含量为66.4 mL时,水与无水乙醇的体积比为7∶1,经过8h回流后可得到稳定性良好的溶胶,溶胶的粘度为6.45 mPa·s；Al2O3薄膜的热稳定较好；所采用的烧结制度是0～100℃,升温速率为0.25℃/min,保温120 min；100～170℃,升温速率为0.5℃/min,保温120 min；170 ～400℃,升温速率为0.5℃/min,保温120 min；400～800℃,升温速率为1℃/min,保温120 min；最后自然冷却至室温即可得到性能良好的薄膜；膜表面光滑平整,薄膜平均孔径约为20.6449nm.