关键词：为机械加工技术;微传感器;应用
摘 要：随着科学技术的不断发展,微传感器因其微型化、智能化、低能耗和易集成的特点得到了广泛应用。微机械加工技术在微传感器的的制造工艺中得到了越来越多的应用。本文主要阐述了微机械加工技术在微传感器中的应用。
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