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机械设备行业:国际品牌垄断市场,但国产品牌正取得突破-半导体设备国产化专题八,工艺控制与量测设备

加工时间:2019-12-08 信息来源:EMIS 索取原文[6 页]
关键词:机械设备行业;半导体设备;国产化;行业分析
摘 要:

半导体的工艺控制、良率管理、量测设备,主要包括尺寸测量和缺陷检测,尺寸测量包括膜厚检测、粗糙度测量、套刻误差测量、OCD测量、掩模板测量等,缺陷检测包括无图形晶圆检测、有图形晶圆检测、电子束复检设备等。全球工艺控制与量测设备主要被 KLA、应用材料、Hitachi 垄断,国产品牌上海睿励、中科飞测、上海精测半导体均在国内晶圆产线上有订单突破。 


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