5393 篇
13905 篇
477978 篇
16302 篇
11766 篇
3933 篇
6543 篇
1253 篇
75636 篇
37863 篇
12163 篇
1665 篇
2866 篇
3421 篇
641 篇
1241 篇
1974 篇
4917 篇
3875 篇
5483 篇
机械设备行业:国际品牌垄断市场,但国产品牌正取得突破-半导体设备国产化专题八,工艺控制与量测设备
半导体的工艺控制、良率管理、量测设备,主要包括尺寸测量和缺陷检测,尺寸测量包括膜厚检测、粗糙度测量、套刻误差测量、OCD测量、掩模板测量等,缺陷检测包括无图形晶圆检测、有图形晶圆检测、电子束复检设备等。全球工艺控制与量测设备主要被 KLA、应用材料、Hitachi 垄断,国产品牌上海睿励、中科飞测、上海精测半导体均在国内晶圆产线上有订单突破。