关键词：磁控溅射;表面工程;力学所;表面功能;材料摩擦;开放服务;耐腐蚀性;Impulse;物理气相沉积;表面改性;
摘 要：表面工程提高材料摩擦磨损、耐腐蚀性能的同时,还赋予材料新的表面功能,为解决人类发展中遇到的资源、能源等问题起到了不可替代的重要作用。作为表面工程领域的重要分支,我国亟需提升物理气相沉积(PVD)的技术能力。高能冲击磁控溅射技术(High Power Impulse Magnetron Sputtering,Hi PIMS)在国际上被称为磁控溅射方法
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