关键词：关 键 词: 离子注入; Ag 纳米颗粒; 气氛效应; Ag 扩散
摘 要：摘 要: 将 70 keV 的 Ag 离子以 5×1016cm-2的剂量注入到 SiO2基底中, 随后分别在 400~800℃的 Ar、N2、空气气氛中退火, 详细研究了样品的表面形貌、光吸收特性、结构及成分随退火气氛及退火温度的变化规律。原子力显微镜、紫外-可见分光光度计及掠入射 X 射线衍射仪的测试结果显示: Ar 气氛退火样品中形成的 Ag 纳米粒子(NPs)细小均匀, 其颗粒密度在 700℃时达到最大值, 光吸收性能最佳; N2气氛退火引发 Ag纳米颗粒的团聚生长, 在样品近表面形成较大的 Ag NPs, 其颗粒密度也在 700℃时达到最大值; 而空气中退火后, 由于 AgO 的形成、...
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