关键词：超声波;干式清洗机;机械系统;有限元;参数优化
摘 要：近几年我国平板显示产业保持继续增长，平板显示产业的发展带动了其制作所需原材料发展，玻璃基板是平板显示产业的关键材料之一，是构成平板显示器件的一个基本部件。保证玻璃基板清洁至关重要，超声波干式清洗机不可或缺。 本文以超声波干式清洗机为研究对象，首先分析了超声波清洗玻璃基板的原理。然后在学习机械设计等理论的基础上，采用SolidWorks、ANSYS等软件完成了对清洗机机械系统的设计及优化。最后对清洗机进行生产试制，并对清洗机的清洗效果进行了测试。具体的研究内容及结论如下： （1）对清洗机的超声波干式清洗原理进行分析。首先阐述了固体表面微粒附着的原因，并分析了附着微粒的受力情况，建立了...
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取