关键词：MEMS谐振器;挤压膜阻尼;穿孔扭转矩形板;雷诺方程
摘 要：随着MEMS技术的逐渐发展,MEMS谐振器件以其优良的机械性能而被广泛的应用。和宏观机械不同,由于MEMS谐振器的尺寸很小,在工作过程中会比较明显的受到周围空气的影响,特别是当振动极板在距离基板很近的位置振动时,间隙中的气体薄膜会对器件产生较强的阻尼效应,即挤压膜阻尼效应。挤压膜阻尼作为气体阻尼的一种,是MEMS谐振器件工作过程中主要的能量耗散机制之一,它对衡量MEMS谐振器件动力学特性的关键指标-品质因数有着重要的影响。因此,如何准确地预测气体的挤压膜阻尼成为设计高品质因数的微谐振器件的关键。对于工作在常压下器件的挤压膜阻尼,通常是利用连续介质理论,通过建立和求解间隙气体的雷诺方程来得到相应...
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