关键词：微流体；滤波器；滤波效率；数值模拟
摘 要：随着微机电系统的不断发展,微流体控制系统已成为目前乃至今后研究的重点问题。微通道内流体流动稳定性对系统结果分析有较大影响,消除流体脉动分量,研究影响流动稳定性的各因素至关重要。基于数值方法,计算了微流体滤波器周期性流动过程,分析了周期平均速度、脉动速度振幅、脉动频率对滤波效率的影响。研究表明:微流体滤波器第一级滤波腔的滤波效率受周期平均速度影响较大;周期平均速度相对越大,滤波效率越低;而第二、第三级滤波腔的滤波效率受周期平均速度、脉动速度振幅、脉动频率的影响均较小,可忽略不计。
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