关键词：电铸；微成型装备；加工效率
摘 要：随着MEMS(微机电制造系统)技术的发展和各种异型、复杂精密微细零件制造的需要,作为精密加工制造技术的精密电铸技术越来越受到人们的关注.由于电铸技术存在表面质量缺陷多、加工效率低的缺点,使得电铸技术的发展受到严重阻碍.设计了机电一体的电铸成型装备,采用双缸结构,能够成倍地提高电铸加工效率;两工作阴极分别采用旋转和双轴联动的多路径移动方式对铸液进行搅拌;采用PLC和A/D转换模块,可实时在线控制温度和检测pH值,能更好地改善电铸成型质量.