关键词：ZnO薄膜；过渡层；TiO2薄膜
摘 要：采用直流反应溅射法在Si(100)衬底上制备了有TiO2过渡层的ZnO薄膜,并与直接在Si上生长的样品进行比较.通过X射线衍射技术和光致发光谱等分别对ZnO薄膜的结构和光学性质进行测量和分析.测量结果表明,引入过渡层后ZnO薄膜的平均晶粒尺寸变大,晶粒间界变少,结晶质量提高,薄膜内的应力得到一定程度的释放.此外,室温光致发光谱表明过渡层使ZnO薄膜的紫外发射明显增强,并研究和分析了其微观机理.