关键词：类金刚石薄膜;深冷处理;膜基结合强度;摩擦磨损;机理
摘 要：类金刚石碳膜(Diamond-like carbon films,简称DLC膜),是一种以sp3键和sp2键杂化形式结合的非晶碳膜,作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,广泛用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域。但是由于DLC薄膜过大的残余应力导致其韧性及膜基结合强度较差等缺点,限制了其在一些大载荷条件下的应用。为进一步提高DLC薄膜的使用性能,目前科研人员主要采用改变工艺参数、掺杂第三元素、引入中间过渡层或进行退火后处理等方式来改善DLC薄膜的机械性能。但是,各类薄膜改性工艺都存在各自的局限性,难以获得具有高硬度、强韧性、良好附着力和高耐磨性等综合性能较好的DLC薄膜材料。大量...
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