关键词：PC膜;厚度;结晶度;压入模量;压入硬度
摘 要：在真空气相沉积条件下制备厚度分别为0.32 μm、2.39 μm、7.98 μm和17.11 μm的聚氯代对二甲苯膜(PC膜),采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对不同厚度PC膜的结晶度、表面形貌以及力学性能进行了表征与测试.结果表明,随着成膜厚度的增加,聚氯代对二甲苯薄膜的结晶度提高,表面晶粒尺寸增大,结晶形态更加完整,其表面粗糙度、压入模量和压入硬度呈逐渐增大的趋势.而PC膜表面形貌、力学性能的差异又与结晶度密切相关.