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过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展

作者：汪广进；余意；程凤；梁聪；徐甜；潘牧作者单位：武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉430070 加工时间：2014-01-15 信息来源：《材料导报》

关键词：过渡金属氮氧化物；溅射法；化学气相沉积法；化学合成法
摘要：综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数.

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