关键词：大光栅刻划机;刻划系统;光栅刻线弯曲误差;误差分析;机械修正方法;气浮导轨;双频激光干涉仪;杂散光
摘 要：衍射光栅是一种极为重要的色散元件,大面积高精度的平面衍射光栅在军事、天文、核能、航天航空及民用领域的应用十分广泛。衍射光栅的主要制造方法有机械刻划法和全息刻蚀法两种,其中对于某些特殊光栅如低刻线密度的红外激光光栅和所有中阶梯光栅等由于其刻线较深且对槽形要求非常严格,必须采用机械刻划法制造。光栅刻划是一种极为精密的技术,光栅刻划机被誉为“精密机械之王”。本论文受“十一五”国家重大科研装备研制项目资助,进行大型高精度衍射光栅刻划机(以下简称大光栅刻划机)刻划系统结构的设计工作,探索降低机械刻划光栅刻线弯曲误差,提高大面积机械刻划光栅质量的方法,对刻划系统各部分的误差进行了理论分析与实验验证,根据实...
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