关键词：超精密加工;微机械;机械制造
摘 要：随着我国经济快速的发展,航空航天事业、微机械加工业、生物工程都得到了比较迅速的发展,这些行业在发展的过程中,精密微小零件有着十分重要的作用,由此,促进了精密微小零件加工的发展。在其不断发展的过程中,面临的要求也越来越高,为了满足要求,在零件加工中应用了超精密微机械制造技术。文章在介绍超精密加工特点的基础上,分析了超精密微机械制造技术。
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