关键词：钛扩散;;气相输运平衡;;铌酸锂;;周期极化;;光波导
摘 要：使用钛扩散的方法在Z切铌酸锂(LiNbO3)基片上制备平面光波导,并进行富锂气相输运平衡(VTE)处理,获得平面光波导。利用外加电场法对其周期极化,制备出近化学计量比钛扩散周期极化铌酸锂(Ti:PPLN)平面光波导。对近化学计量比Ti:PPLN平面光波导的制备方法及工艺进行深入研究,为制备近化学计量比Ti:PPLN条波导奠定基础。
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