关键词：微机械陀螺仪;误差补偿;正交误差;温度误差;线性加速度误差
摘 要：微机械陀螺与传统的机械陀螺相比有成本低、体积小、适合大批量生产等优点。因此它在导航、汽车电子、游戏产品等领域得到了广泛的应用。然而,目前微机械技术仍然存在很多限制,包括大的工艺偏差、用于制造微机械结构的材料对温度和冲击敏感等。微机械制造工艺的大偏差会造成陀螺的驱动轴和检测轴不完全正交,由此导致陀螺的输出产生严重的误差,称为正交误差。同时,微机械材料的物理特性与温度相关,从而使得微机械陀螺的输出会随着温度的变化而变化,导致其温度性能很差。另外,由于微机械结构对冲击敏感,外界大的冲击干扰会使微机械陀螺的输出出现很大的冲击信号,称为线性加速度误差。然而,目前的微机械陀螺产品没有考虑这些误差的影响,从...
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