关键词：金属玻璃膜;相变特性;Mg合金;SMAT;机械性能;理想玻璃;纳米玻璃
摘 要：Mg-基金属玻璃材料在其非晶态具有异常高的硬度,晶化后的物理特性则会发生根本性的改变。本文以Mg-基金属玻璃膜的工程应用为未来目标,研究了其相变特性和机械性能。 本文首先通过磁控溅射方法成功制备出了Mg-Cu-Y金属玻璃膜。磁控溅射中使用不同的溅射氩气压可制备出元素比例不同的Mg-基金属玻璃膜。其晶化后电阻率和反射率会发生变化。经研究对比发现,0.5Pa氩气压溅射沉积的Mg58Cu29Y13金属玻璃膜在非晶态和晶态间有最大的电阻率差异(36.4%)和反射率差异,因此其有潜力成为相变存储器的记录层。 进一步研究发现,Mg58Cu29Y13金属玻璃膜在玻璃转变温度以上会发生相分离现象,...
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