关键词：低膨胀系数;晶粒大小;微波辅助;应用材料;波长范围;特定应用;传输特性;沉积技术;再现性;横向尺寸;
摘 要：作为钻石的直系亲属,具有"碳单质"特性的金刚石本事可不小,包括已知最高的热导率、刚度和硬度,同时在较大波长范围内具有高光学传输特性、低膨胀系数和低密度属性。这些特性使金刚石成为能够显著降低热阻的热管理应用材料。要合成热管理应用所需金刚石,第一步是选择最恰当的沉积技术。微波辅助CVD能够更好地控制晶粒大小和晶粒界面,从而生成符合特定应用热导率级别所需的高品质高再现性多晶金刚石。目前,CVD金刚石
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