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全自动荧光粉涂覆工艺及设备研究
作者:刘杰;刘键;冷兴龙;屈芙蓉;刘俊标;吴茹菲; 作者单位:中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室;中国科学院电工研究所; 加工时间:2013-12-20 信息来源:半导体光电
关键词:LED;;荧光粉涂覆;;真空搅拌除泡装置
摘 要:自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,研究了有无真空搅拌除泡装置对荧光粉涂覆效果的影响,结果发现未经真空搅拌除泡处理的荧光粉涂覆层厚度均匀性较差,且涂覆层中有明显的气泡,气泡直径可达1mm;经过真空搅拌除泡处理后涂覆层厚度均匀性好且涂覆层中无气泡。利用LED光学参数综合测试仪分析了有无真空搅拌除泡装置对LED发光特性的影响,结果发现真空搅拌除泡工艺能明显提升LED光谱色度一致性。
内 容:原文可通过湖北省科技信息共享服务平台(http://www.hbstl.org.cn)获取
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