金刚石薄膜热导率的研究现状
作者单位：赵齐,ZHAO Qi(广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院),广州510651;华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640)代明江,韦春贝,侯惠君,DAI Mingjiang,WEI Chunbei,HOU Huijun(广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院),广州,510651)邱万奇,QIU Wanqi(华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640)
加工时间：2013-12-15
信息来源：材料导报
关键词：金刚石薄膜;热导率;晶粒尺寸;反应温度;diamond film;thermal conductivity;grain size;reaction temperature
摘 要：分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理,从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素,例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素;从金刚石薄膜合成工艺角度探讨了影响金刚石薄膜热导率的因素,例如基底材料及预处理、合成温度、气源及添加气体(氧气、氮气)、工作压强、功率等.
027-87841330