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碳化硅电容式高温MEMS应变传感器

Silicon Carbide Capacitive High Temperature MEMS Strain Transducer

作者：Weisenberger, R. P. 作者单位：Air Force Inst. of Tech., Wright-Patterson AFB, OH. Graduate School of Engineering and Management. 加工时间：2014-07-03 信息来源：科技报告（AD）

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关键词：传感器；碳化硅；高超声速飞行器；数学模型；微机电系统
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