关键词：玻璃切割；皮秒激光；工艺研究；工艺参数
摘 要：对激光精密加石英玻璃切割工艺进行了实验研究,探讨了不同的工艺参数对加工效果的影响。首次使用1064nm皮秒激光器作为光源,对厚度为0.3mm的石英玻璃片进行了激光划线切割。在激光功率20w,占空比60%,频率100k Hz,加工速度700mm/s时,获得样品正面崩边11.08um,背面崩边7.610um,侧面粗糙度为4um的加工效果。分析了不同工艺参数对样品加工效果的影响,依据实验结果,得到满足实际加工要求的最佳工艺参数。
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