关键词：湿热环境；减反射膜；可靠性；镀膜；吸收峰
摘 要：采用双面抛光的锗片为基底,镀制中波减反射膜,在湿热环境中分别持续24h、2×24h、3×24h、4×24h、5×24h、…、12×24h之后,研究了湿热环境对Ge基中波减反射膜的光学特性、牢固性等可靠性的影响。实验结果表明:在现有工艺条件下,所镀制的Ge基中波减反射膜经不同时间的湿热环境之后,透过率逐渐变低,并出现CO2和H2O的特征吸收峰,吸收峰是减反射膜长时间持续在湿热环境下CO2和H2O含量增大所致;湿热环境10×24h后,边缘膜层开始出现脱落现象,12×24h后,膜层平均透过率低于85%。
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