关键词：离子注入；Ag纳米颗粒；气氛效应；Ag扩散
摘 要：将70 ke V的Ag离子以5×1016 cm-2的剂量注入到Si O2基底中,随后分别在400~800℃的Ar、N2、空气气氛中退火,详细研究了样品的表面形貌、光吸收特性、结构及成分随退火气氛及退火温度的变化规律。原子力显微镜、紫外-可见分光光度计及掠入射X射线衍射仪的测试结果显示:Ar气氛退火样品中形成的Ag纳米粒子(NPs)细小均匀,其颗粒密度在700℃时达到最大值,光吸收性能最佳;N2气氛退火引发Ag纳米颗粒的团聚生长,在样品近表面形成较大的Ag NPs,其颗粒密度也在700℃时达到最大值;而空气中退火后,由于Ag O的形成、分解,样品的光吸收强度随退火温度升高持续下降。最后,卢瑟福背...
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