关键词：钛硅碳氮;钛铬硅碳氮;铬硅碳氮;纳米复合涂层;等离子体增强磁控溅射;高温退火;抗氧化性
摘 要：用等离子体增强磁控溅射(PEMS)方法制备了Ti Si CN、Ti Cr Si CN和Cr Si CN涂层,并在空气中进行700°C退火处理。利用扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪表征了退火处理前后涂层的断面形貌、成分和微结构。研究了退火处理对3种涂层的硬度、韧性和膜基结合性能的影响以及它们的高温抗氧化性能。结果表明:退火处理后,Ti Si CN涂层表面形成了一层均匀且较厚(1.50μm)的富氧层;Cr Si CN涂层的氧化层不均匀且富氧层较薄(0.50μm);Ti Cr Si CN涂层较致密,未检测到氧化物存在。3种涂层的韧性和硬度在退火后都出现不同程度的降低,硬度分别降低了20 GPa(...
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