关键词：磁控溅射;TiAlN涂层;氧化机理;工艺参数;抗氧化性;过渡族元素;多元多层;magnetron sputtering;TiAlN coatings;oxidation mechanism;processing parameters;oxidation resistance;transition elements;multi-element-layer
摘 要：简述了TiAlN涂层的应用领域、氧化机理以及采用磁控溅射制备该涂层的方法,分析了制备过程中N2分压、Al靶功率以及基体温度对涂层抗氧化性能的影响规律.同时指出了致密、膜基结合力高的涂层具有较高的抗氧化性;加入其他合适元素和合理设计过渡层不仅可以提高涂层与基体的物理匹配程度,减小内应力,同时也可提高膜基结合力,改善涂层的热力学稳定性及抗氧化性能,将成为今后的研究趋势.