关键词：微机电系统;压阻式加速度传感器;三明治结构;圆片级封装;阳极键合;各向异性湿法腐蚀
摘 要：微机械压阻式加速度传感器应用广泛,从便携式电子消费产品到航空航天领域都能见到它的身影,它具有体积小、成本低、精度高、可靠性好和批量制造等优点,因此,对其进行研究具有重要的理论意义及应用价值。本文提出了一种三明治结构微机械压阻式加速度传感器,传感器整体采用基于阳极键合的圆片级封装技术制造而成。传感器结构为玻璃-硅-玻璃三明治结构,硅芯片的下表面为硅与玻璃阳极键合,上表面采用硅-非晶硅-玻璃的阳极键合,非晶硅层将键合电流导通至分片槽区域,保护了键合过程中器件的电学性能。传感器硅芯片采用体微加工工艺制造,加速度质量块结构的腐蚀充分利用了KOH凸角补偿腐蚀过程中凸角的过切,制造出一个类似锥台形的质量块...
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