关键词：电弧离子镀;阴极电弧移动;Al–Ti–N涂层;微观结构;机械性能
摘 要：因为Al–Ti–N涂层在硬度、抗磨损和氧化方面的优异表现性能,所以在各种工业应用中被大规模使用。本文主要研究沉积参数对于通过电弧离子镀沉积的Al–Ti–N涂层在电弧弧斑运动、涂层微观结构和机械性能方面的影响。Al–Ti–N单一涂层的化学成分、微观结构和机械性能通过EDX、XRD、努氏显微压痕硬度仪和摩擦磨损来进行检测。改变电弧电流对涂层沉积速率有明显影响。通过增强轴对称磁场的横向分量,电弧更多的向电弧靶中心区域移动,而且在沉积的Al–Ti–N涂层上可以观察到更少更小的大颗粒。除此之外,在一定范围内增加轴对称磁场的横向分量,Al–Ti–N涂层的微观结构、努氏硬度和抗摩损率都有所提高。
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