关键词：压力动作器；动力学分析；声悬浮；非接触
摘 要：提出了一种基于近声场悬浮的非接触式球形转子压电作动器,由压电陶瓷激发碗式定子产生两相B04驻波并合成一高声强行波,进而诱发高声强声场来同时悬浮和驱动球形转子。建立了非接触式球形转子压电作动器的有限元模型,对定子进行了动力学分析与优化设计,确定了结构方案,最后加工、制造了样机。通过试验得到了定子的振动参数,搭建了整个样机的测试系统,对其悬浮和驱动特性进行了分析,结果表明球形转子在近声场的作用下成功地实现了非接触式旋转。