关键词：静电传感器;非接触式测量;平动速度;振动检测;传感器阵列;互相关;数据融合
摘 要：为提高测量结果的精度和可重复性,将实时计算得到的多个速度值,经过数据在现代工业生产过程中,随着机械装置逐步精密化、复杂化,对于设备工作的稳定性和可靠性的要求越来越高,因此设备运行速度和振动的精确检测具有重要的意义。精确测量设备的运行速度可以有效提高控制水平和加工精度,而对机械振动的检测可以尽早预测设备故障,及时消除缺陷,保证设备持续、可靠地运行。接触式测量方法由于原理上的局限,在测量过程中会出现难以避免的误差,且难以同时实现振动检测。对于大多数非接触式的测量方法,其优点是适用于不同材料的被测物体,且对测量过程不会构成任何干扰,但是要实现较高精度的测量,往往价格昂贵。采用静电传感器通过采集设备运...
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