关键词：金刚石玻氏压头;机械研磨;设计方法;压头钝圆半径;抗磨损性能
摘 要：随着对材料表面微纳米尺度力学性能检测的需求不断增加,仪器化纳米压痕技术得以迅速发展。在仪器化纳米压痕试验中,为了使所能检测的材料表面尺度更小且检测结果更为精确,除了需要高性能的纳米压痕仪外,高精度的金刚石压头也必不可少,尤其是高精度金刚石玻氏压头。压头尖端钝圆半径是评价压头制造精度的一个关键指标。目前国外商品化的高精度金刚石玻氏压头尖端钝圆半径小于50nm,最好的能达到20nm,而国内金刚石玻氏压头的制造水平较低,达不到国际标准对于纳米压头尖端钝圆半径小于200nm的最低标准。因此,如何使研磨出的金刚石玻氏压头尖端钝圆半径小于50nm是目前需要解决的关键问题。本文主要从压头设计和研磨工艺两个方...
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